羅茨真空泵由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來，包括高真空多級(jí)羅茨泵、中真空羅茨增壓泵和直排大氣的干式羅茨泵，廣泛用于化工、造紙、冶金、薄膜制備、食品等行業(yè)，也是IC裝備行業(yè)中常用的一種真空泵。國內(nèi)羅茨真空泵的研究和制造較早，但適合于IC裝備行業(yè)嚴(yán)格要求的羅茨干泵并不多見，致使該設(shè)備長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。

鑫鴻偉羅茨真空泵廣泛應(yīng)用于電子、化工、紡織等行業(yè)，根據(jù)使用需求的不同，采用不同的真空泵或者多種真空泵的組合來獲得真空，對(duì)于被抽真空系統(tǒng)而言，羅茨真空泵的大流量粗真空是優(yōu)勢(shì)所在。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種多級(jí)羅茨真空泵，

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包括泵體以及泵體的內(nèi)腔；

所述內(nèi)腔被隔板分隔成若干隔腔，相鄰兩所述隔腔通過氣道連通；

所述內(nèi)腔兩端的隔腔分別為首端隔腔和尾端隔腔；自所述首端隔腔至所述尾端隔腔，若干所述隔腔體積依次減小；

所述首端隔腔設(shè)有進(jìn)氣口，所述尾端隔腔設(shè)有出氣口；

所述內(nèi)腔內(nèi)設(shè)有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸上設(shè)有風(fēng)葉，

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每個(gè)所述隔腔中均設(shè)有風(fēng)所述傳動(dòng)軸穿設(shè)于所述內(nèi)腔；所述傳動(dòng)軸數(shù)量為2，分別為主動(dòng)軸和從動(dòng)軸，所述主動(dòng)軸和所述從動(dòng)軸通過同步齒輪傳動(dòng)。

，每個(gè)隔腔內(nèi)均設(shè)有兩個(gè)風(fēng)葉，且分別設(shè)置在主動(dòng)軸和從動(dòng)軸。同一隔腔內(nèi)的兩個(gè)風(fēng)葉相互嚙合；所述主動(dòng)軸和從動(dòng)軸相互平行。

優(yōu)選的，所述泵體一端設(shè)有傳動(dòng)元件，所述同步齒輪位于所述傳動(dòng)元件中；所述主動(dòng)軸和從動(dòng)軸一端伸出所述內(nèi)腔后到連接于所述同步齒輪。，所述主動(dòng)軸遠(yuǎn)離所述同步齒輪的一端伸出所述內(nèi)腔后連接于驅(qū)動(dòng)組件。

，所述傳動(dòng)軸從所述內(nèi)腔的端壁伸出；所述傳動(dòng)軸與所述內(nèi)腔的端壁之間設(shè)有密封組件。，所述泵體還設(shè)有冷卻通道；所述冷卻通道位于所述內(nèi)腔外側(cè)。，所述氣道位于所述內(nèi)腔外側(cè)，所述氣道能與所述冷卻通道進(jìn)行熱交換；所述氣道與隔腔連通設(shè)有回氣通道。

，所述回氣通道與所述冷卻通道連接部為第一連接口，所述回氣通道與所述內(nèi)腔連接部為第二連接口；所述第一連接口位于所述第二連接口和所述尾端隔腔之間。

本實(shí)用新型的有益效果是：

1.使用時(shí)，提高了極限真空，直接將被抽氣體排入大氣環(huán)境；

2.不易發(fā)熱，更好的冷卻；

3.無需用油來密封泵，解決了返油的風(fēng)險(xiǎn)；

4.結(jié)構(gòu)更加合理，便于生產(chǎn)加工。